日本TDK公司近日发布了一款高性能单轴闭环MEMS加速度传感器：Tronics AXO315。这款微型加速度传感器达到了石英加速度传感器的性能，优于目前市场上的其它商用MEMS加速度传感器，具有24位数字SPI接口和SMD封装，简化了客户的集成应用。

　　面对工业、铁路、陆上、海事和建筑领域常见的恶劣温度和振动环境，这款新型力平衡式MEMS加速传感器可提供卓越的1 mg一年复合零偏重复性和600 ppm复合标度因素重复性。AXO315是一款±14 g范围平面线性加速度传感器，在-55℃~ +105℃的温度范围内工作，其卓越的Allan方差特性增强了性能，具有出色的4µg零偏不稳定性，0.006m/s/√h的速度随机游走，15 µg/√Hz的极低噪声，从而实现了高分辨率和低误差。

　　AXO315的性能与目前的模拟石英加速度传感器和机械测斜仪相当，但其尺寸、重量和价格仅为后者一小半。AXO315的性能水平高于所有市售的商用MEMS加速度传感器，并且温度稳定性提高了80%。该加速度传感器适用于高性能IMU和INS。它采用轻量化的1.4 g密封SMD J-lead陶瓷封装（12mm ×12mm ×5mm），即使在快速变化的温度条件下，也能在PCB上实现低成本组装和可靠性。

　　AXO315可用于例如工业运动控制单元中的伺服倾斜仪和动态倾斜仪，用于GNSS辅助定位的IMU和INS，以及有人或无人驾驶的地面车辆和列车的导航等，可以显著降低这些系统的尺寸、重量和成本。。

　　（摘编自“麦姆斯咨询”）