近日，中国电科12所超精密加工基础领域再创新高，采用超细线切割电极丝，实现超精密加工，为太赫兹真空辐射源创新研究注入强劲工艺动力，也为我国高端电子制造领域的关键部件加工打牢基础。

　　太赫兹频段真空电子器件的尺寸很小，对精密加工技术提出了更高要求。技术人员需要在0.4毫米厚的坯料上，加工出直径55微米的微小穿丝孔洞，难度堪比“针穿微芒”。加工过程中，电极丝极易因放电不均、张力波动发生断丝，阵列加工产生的局部应力堆积，容易引发材料形变，导致整个器件性能失效。面对重重挑战，12所超精密加工技术团队迎难而上，建立全流程环境与振动控制的超精密线切割中心，将不断精进全金属微结构的加工技术，以顶尖的精密制造能力，助力我国真空电子技术不断向前发展。